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制膜靶材廠家哪家好
來源: | 作者:pmoa3a38d | 發布時間: 2019-03-14 | 1618 次瀏覽 | 分享到:

市場上擁有眾多靶材制作廠家,其靶材的質量也有較大的波動。往往靶材的質量是通過其成分、致密度以及制作工藝決定的,不同的生產廠家對于這三種因素的傾重也不同?,F在國內靶材生產廠家很多,價格也很大差別 。如此多的制膜靶材廠家哪家好?下面由專注于制膜靶材研發生產的南京皮埃路電子技術有限公司總結了相關的內容與大家分享。

薄膜工藝自從被研究人員發現以來,其工藝方法也在不斷的進步。其中脈沖激光沉積(PLD)與磁控濺射法兩種方法在眾多方法中占據了較為重要的位置。兩種制膜方法都涉及到了其原材料---靶材。因此靶材的質量直接影響了兩種制膜方法的鍍膜質量。

主要的種類有:Ga2O3、EuTiO3、MgAl2O4、MgCaO2、MnCoNi、In2O3、Sr2FeMoO6、Sr2CrRuO6、LaZnMnO3、LiFePO4、LsSrNiO3、LaZnMnO3、LaBaCoO3、HoSmBa2Cu3O7、HoBaCo2O6、GdSrMnO3等。靶材的致密度越高,成分與制作工藝越復雜,其造價也會越高??蒲腥藛T往往希望獲得性價比較高的靶材。

本文以皮埃路電子技術有限公司生產的SrRuO3陶瓷靶材為例,為大家具體講述它的參數規格和制備方法。

1. 陶瓷靶材制備方法:采用百分之99.95純度SrCO3、百分之99.9或百分之99.99純度 RuO2粉末, 按化學計量比配料,球磨58小時后混合均勻,在大于1100度通過熱壓燒結制備陶瓷靶材。

2. 陶瓷靶材規格:單一結構相;直徑2050毫米,厚度36毫米;SrRuO3含有貴金屬元素 Ru,靶材價格通常在3500元及以上。

如有想要專業定制制膜靶材的客戶,歡迎咨詢皮埃路電子技術有限公司。

皮埃路電子自成立以來,始終秉承客戶至上,質量至上的理念,根據客戶的要求生產穩定可靠靶材產品。皮埃路電子技術有限公司是南京政府321項目資助的高科技公司,由新加坡南洋理工大學、南京理工大學、南京航空航天大學和南京大學的幾位教授負責技術指導。我們樂意為您定制高純、高密度的濺射靶材,方便您進一步通過磁控濺射、脈沖激光沉積(PLD)系統制備高質量的薄膜。

如果您希望研究一種目前尚未存在的單晶薄膜,您可以自己設計組分,我們會為您量身定做專用的氧化物陶瓷靶材、也可以組織專家學提供薄膜生長方面的建議。我們也可以通過的磁控濺射或PLD為您定做相應的薄膜,甚至進行XRD、SEMAFM檢測。在您提出需求和簽訂合同之后,我們將在3-5周內為您提供專用的高質量靶材。我們的每個靶材的原材料純度都保證在百分之99.9以上,部分靶材的原材料純度可以實現百分之99.99。靶材價格是由原材料和加工難度決定的,具體費用請撥打吸頂懸浮的電話聯系咨詢!

 


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